∙ SEMI(Semiconductor Equipment and Material International : 세계 반도체 장비.재료 협회)는 1970년 미국 마운틴뷰에서 설립되었고, 규격 제정, 환경, 해외 사업 지원, 시장 및 산업 정보 제공, 전시회 및 컨퍼런스 운영 등의 업무를 하고 있습니다. 제정된 SEMI 규격은 전 세계에서 통용이 되고 있음

∙ SEMI 평가란 반도체/FPD 제조공정에 사용되는 기계설비가 SEMI 규격에 적합하게 제작되었는지 여부를 시험 및 평가하는 것임

∙ CE 인증과 달리 강제성 제도가 아닌 SEMI 규격 적합성을 검증하는 자율적 평가임

∙ 고객이 SEMI 인증서를 요구할 경우, SEMI 규격 부적합사항이 없을 경우에 일반적으로 LoC(Letter of Compliance) 가 발행됨

∙ SEMI S1 : 안전라벨 관련 가이드라인

∙ SEMI S2 : 환경, 보건, 안전 관련 가이드라인

∙ SEMI S3 : 공정용 액체 가열시스템 관련 가이드라인

∙ SEMI S6 : 배기 관련 환경, 보건, 안전 가이드라인

∙ SEMI S8 : 인체공학 관련 가이드라인

∙ SEMI S10 : 위험성평가 관련 가이드라인

∙ SEMI S13 : 문서 관련 환경,보건,안전 가이드라인

∙ SEMI S14 : 화재 위험성평가 관련 가이드라인

∙ SEMI S22 : 전기 설계 관련 가이드라인